4月2日消息,华中科技大学与湖北九峰山实验室组成联合研究团队,突破“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”技术。相关成果日前发表在《化学工程杂志》上。
(信息来源:科学网。https://news.sciencenet.cn/htmlnews/2024/4/520199.shtm)
4月2日消息,华中科技大学与湖北九峰山实验室组成联合研究团队,突破“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”技术。相关成果日前发表在《化学工程杂志》上。
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