近期,中国科学院长春光机所在Light:Advanced Manufacturing发表了“Investigating a corrective online measurement method for the tool influence function in millimetre spot-sized ion beam figuring”。该研究提出一种基于卷积效应修正的高精度去除函数在线测量方法,用于在线、快速、准确计算离子束加工中的小束径去除函数。针对半高宽为0.5mm至1mm的去除函数,其计算准确性可控制在3%左右。该技术成功应用于大口径非球面的精密修形中,空间波长范围在15mm到3.6mm范围内的面形误差RMS从1.7nm降低到0.4nm。
(信息来源:长春光机所网站。http://www.ciomp.ac.cn/kydt/202510/t20251015_7990494.html)
初审:李剑锋
复审:杜朋钊
终审:毛 刚