创新科技 情报先行

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省内前沿技术跟踪:基于卷积效应修正的离子束加工去除函数在线测量方法

近期,中国科学院长春光机所在Light:Advanced Manufacturing发表了“Investigating a corrective online measurement method for the tool influence function in millimetre spot-sized ion beam figuring”。该研究提出一种基于卷积效应修正的高精度去除函数在线测量方法,用于在线、快速、准确计算离子束加工中的小束径去除函数。针对半高宽为0.5mm至1mm的去除函数,其计算准确性可控制在3%左右。该技术成功应用于大口径非球面的精密修形中,空间波长范围在15mm到3.6mm范围内的面形误差RMS从1.7nm降低到0.4nm。

(信息来源:长春光机所网站。http://www.ciomp.ac.cn/kydt/202510/t20251015_7990494.html

初审:李剑锋

复审:杜朋钊

终审:毛 刚




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