团队提出并设计了一种基于飞秒激光差分曝光策略的三维模式转换器;所制备的器件尺寸仅为2.52×10⁻⁴mm³,创造了飞秒激光直写片上转换器的最小纪录。为未来光子集成电路实现高密度集成与功能灵活拓展提供了稳健且可扩展的技术平台。
(信息来源:超表面光学。https://mp.weixin.qq.com/s/rJykQUttA2yomJM6Msjgsw?scene=1&click_id=5)
团队提出并设计了一种基于飞秒激光差分曝光策略的三维模式转换器;所制备的器件尺寸仅为2.52×10⁻⁴mm³,创造了飞秒激光直写片上转换器的最小纪录。为未来光子集成电路实现高密度集成与功能灵活拓展提供了稳健且可扩展的技术平台。
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