该研究提出并实验验证了一种激光直写应力诱导纳米修形新方法，无需纳米级光刻工艺或外延薄膜生长等复杂前置工艺，即可在薄膜表面实现高精度纳米级形貌调控。据悉，非晶硅薄膜是反应烧结碳化硅反射镜的表面改性材料。该研究实现非晶硅薄膜亚烧蚀条件下应力可控纳米形貌调控，为碳化硅反射镜表面微纳功能化改性开辟新思路，对拓展大口径碳化硅光学元件应用场景具有参考价值。

（信息来源：长春光机所网站。http://www.ciomp.ac.cn/kydt/202608/t20260810_8259850.html）